《稀土Ce,Dy摻雜O+注入矽基薄膜藍色發光特性的研究》是依託南昌大學，由程國安擔任項目負責人的地區科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：稀土Ce,Dy摻雜O+注入矽基薄膜藍色發光特性的研究
- 項目類別：地區科學基金項目
- 項目負責人：程國安
- 依託單位：南昌大學
- 批准號：69766001
- 申請代碼：F0401
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1998-01-01 至 2001-12-31
- 支持經費：8（萬元）
項目摘要
採用金屬蒸氣真空孤離子源注入技術,將稀土離子Ce,Nd,La,Er注入矽單晶片和熱氧化矽片中,實現了在矽基材料上的強束流大劑量注入。提高了Er離子在矽基體中的激活濃度，達到體濃度的10%，是目前文獻報導的最大值，獲得了摻Er矽薄膜在1.54μm波段的高效發光。經XPS分析 ，Er離子以固溶體形態存在於矽和二氧化矽基體中，摻Ce、Nd、La的矽基摻雜層有紫藍光發射，螢光強度隨摻雜濃度增加而增強；獲得了紅光激發的紫藍光發射上轉換螢光光譜，表現摻稀土矽基薄膜的多光子吸收特性。還進行了SEM、XRD、RBS測試，就螢光效率與物相結構及熱處理溫度的相關性進行了研究探討，有所發現，有所創新。在國內外學術刊物上發表論文十餘篇。
