磁性薄膜聯合生長系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年1月31日啟用。
基本介紹
- 中文名：磁性薄膜聯合生長系統
- 產地：中國台灣
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2014年1月31日
- 所屬類別：工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
壓力E-8 tore, 烘烤後可至E-9以下。
主要功能
材料表面膜的生長。
磁性薄膜聯合生長系統
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