《碳化矽外延片表面缺陷的測試雷射散射法》是為描述雷射散射法測試碳化矽外延片表面缺陷的方法而制定的標準。
2023年8月6日，《碳化矽外延片表面缺陷的測試雷射散射法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2024年3月1日實施。
基本介紹
- 中文名：碳化矽外延片表面缺陷的測試雷射散射法
- 頒布時間：2023年8月6日
- 實施時間：2024年3月1日
- 發布單位：國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會
檔案發布
2023年8月6日，《碳化矽外延片表面缺陷的測試雷射散射法》由國家市場監督管理總局、國家標準化管理委員會發布，並於2024年3月1日實施。
內容範圍
