《碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法》是2014年科學出版社出版的圖書，作者是李聖怡。
基本介紹
- 中文名：碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法
- 作者：李聖怡
- ISBN：978-7-03-039110-0
- 頁數：10186頁
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2014-01
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《維納製造的基礎研究學生著作叢書：碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法》可供從事空間光學設計與製造，光學加工、超精密加工與測量，光學精密儀器等精密工程領域研究的科技人員參考，也適合高等院校相關專業的師生閱讀。
圖書目錄
封面
碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法
內容簡介
《微納製造的基礎研究學術著作叢書》編委會
《微納製造的基礎研究學術著作叢書》序
前言
第1章 緒論
第2章 碳化矽光學材料特性與力學行為研究
第3章 碳化矽反射鏡坯體的非球面磨削機理與工藝
第4章 碳化矽光學材料研磨去除機理與工藝
第5章 碳化矽光學材料傳統拋光機理與工藝
第6章 碳化矽光學材料的芬頓輔助拋光機理與工藝研究
第7章 碳化矽光學材料的可控柔體加工特性研究
第8章 碳化矽反射鏡超精密加工工藝路線與套用實例
封底
