《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規範》 是1997年5月1日實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規範
- 外文名：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
- 標準號：GB/T 16527-1996
- 標準類別：產品
編制進程,起草工作,
編制進程
1996年9月9日，《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規範》發布。
1997年5月1日，《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規範》實施。
起草工作
主要起草單位：長沙韶光微電子總公司 。
