矽材料檢測技術

內容簡介

《矽材料檢測技術》主要介紹了半導體矽材料常規電學參數的物理測試

方法、檢測晶體缺陷的化學腐蝕法、半導體晶體定向法、矽單晶中氧和碳含量的測定方法。《矽材料檢測技術》還介紹了多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗方法、純水的製備及高純分析方法。

為了確保測試數據的準確性，對矽材料常規物理參數測試的測準條件作了詳細的分析介紹。對先進的測試技術作了一般的介紹。《矽材料檢測技術》是矽材料技術專業的核心教材。

《矽材料檢測技術》可作為高職高專矽材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。

圖書目錄

第1章矽單晶常規電學參數的物理測試1

11半導體矽單晶導電類型的測量1

12半導體矽單晶電阻率的測量7

1.3 非平衡少數載流子壽命的測量19

本章小結37

習題37

第2章化學腐蝕法檢測晶體缺陷38

21半導體晶體的電化學腐蝕機理及常用腐蝕劑38

22半導體單晶中的缺陷42

23矽單晶中位錯的檢測49

24矽單晶中漩渦缺陷的檢測55

25化學工藝中的安全知識61

26金相顯微鏡簡介62

本章小結63

習題64

第3章半導體晶體定向65

31晶體取向的表示方法65

32光圖定向72

33X射線定向76

本章小結88

習題88

第4章紅外吸收法測定矽單晶中的氧和碳的含量、多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗89

41測量原理89

42測試工藝和方法93

43測準條件分析95

44多晶矽中基硼、基磷含量的檢驗97

本章小結99

習題100

第5章純水的檢測101

51純水在半導體生產中的套用101

52離子交換法製備純水的原理102

53離子交換法製備純水105

54純水製備系統主要設備及工作原理107

55純水製備系統運行控制115

56純水製備系統的清洗116

57高純水的檢測119

本章小結121

習題121

第6章高純分析方法122

61三氯氫矽中痕量雜質的化學光譜測定122

62三氯氫矽(四氯化矽)中硼的分析124

63三氯氫矽(四氯化矽)中痕量磷的氣相色譜測定126

64工業矽中鐵、鋁含量的測定128

65露點法測定氣體中的水分131

66氣相色譜法測定乾法H2的組分133

67氯化氫中水分的測定136

68液氯中水分的測定137

本章小結138

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