《矽多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法(GB/T 4061-2009)》增加了“術語”、“試劑與器材”；增加了“檢驗報告”內容；對試樣尺寸的切取方向和試樣處理內容增加了要求。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位：洛陽中矽高科技有限公司。本標準主要起草人：袁金滿。
基本介紹
- 書名：矽多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2009年12月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139568
- 外文名：Polycrystalline Silicon-examination Method-assessment of Sandwiches on Cross-section by Chemical Corrosion
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：2頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法(GB/T 4061-2009)》由中國標準出版社出版。
