矽外延層載流子濃度的測試電容-電壓法

國家標準《矽外延層載流子濃度的測試 電容-電壓法》 由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）歸口，TC203SC2（全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會）執行 ，主管部門為國家標準化管理委員會。

2021年5月21日，《矽外延層載流子濃度的測試 電容-電壓法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施。

基本介紹

• 中文名：矽外延層載流子濃度的測試 電容-電壓法
• 頒布時間：2021年5月21日
• 實施時間：2021年12月1日
• 發布單位：國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會

修訂信息

2021年5月21日，《矽外延層載流子濃度的測試 電容-電壓法》由國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會發布，並於2021年12月1日實施。

起草工作

主要起草單位 南京國盛電子有限公司 、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司 、中電晶華（天津）半導體材料有限公司 、有研半導體材料有限公司 、河北普興電子科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、瑟米萊伯貿易（上海）有限公司 、無錫華潤上華科技有限公司 、義烏力邁新材料有限公司 。

主要起草人 駱紅 、潘文賓 、楊素心 、趙揚 、趙而敬 、張佳磊 、李慎重 、黃黎 、嚴琴 、黃宇程 、皮坤林 。