《矽單晶中3-5族雜質的光致發光測試方法(GB/T 24574-2009)》對SEMI MF 1389—0704格式進行了相應調整。為了方便比較，在資料性附錄B中列出了本標準章條和SEMI MF 1389—0704章條對照一覽表。並對SEMI MF 1389—0704條款的修改處用垂直單線標識在它們所涉及的條款的頁邊空白處。《矽單晶中3-5族雜質的光致發光測試方法(GB/T 24574-2009)》的附錄A和附錄B為資料性附錄。《矽單晶中3-5族雜質的光致發光測試方法(GB/T 24574-2009)》主要起草人：李靜、何秀坤、藺嫻。
基本介紹
- 書名：矽單晶中3-5族雜質的光致發光測試方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2010年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139578
- 外文名：Test Methods for Photoluminescence analysis of Single Crystal Silicon for Ⅲ-Ⅴ Impurities
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：10頁
- 開本：16
《矽單晶中3-5族雜質的光致發光測試方法(GB/T 24574-2009)》由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。
