真空低溫電學測試探針台是一種用於材料科學領域的電子測量儀器，於2019年7月9日啟用。
基本介紹
- 中文名：真空低溫電學測試探針台
- 產地：美國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2019年7月9日
- 所屬類別：電子測量儀器 > 通用電子測量儀器 > 積體電路測試儀
技術指標,主要功能,
技術指標
1、溫度範圍：80 K-475 K；2、製冷形式：採用液氮製冷；3、循環時間：小於2.5小時；4、4個直流探針臂，用來做電學實驗，可進行直流到50 MHz的電學測量；5、探針臂的可移動距離X方向51 mm；6、*在一個探針臂上安裝溫度計，可方便實時監測探針溫度，準確判斷系統是否達到溫度平衡；7、*回溫方式：防輻射屏上安裝溫度計和加熱器，系統可進行快速回溫；8、採用四通道高性能控溫儀，可分別對防輻射屏、樣品台、探針臂進行控溫和測溫；9、控溫穩定性：優於±100 mK；10、*顯微鏡系統光學解析度優於4 µm，樣品照明採用同軸光和環形光各一套；11、*直流探針具有Guard保護結構設計，適合於進行微弱電信號測量，減少漏電流；12、直流探針阻值為50歐姆，為射頻RF測量提供很好的匹配阻抗；13、*探針臂分別在防輻射屏及樣品台上熱沉，減少探針落針對樣品溫度的影響；14、基礎溫度真空指標：約5 × 10-5 Torr；15、 系統配備50 L進口液氮杜瓦.。
主要功能
低溫探針台主要套用於半導體行業、光電行業、積體電路以及封裝的測試。 廣泛套用於複雜、高速器件的精密電氣測量的研發，進行材料的凝聚態物理、磁學、低溫物理、半導體物理、自旋電子學、超導材料、顯示屏技術、分子磁體材料、磁光材料、磁電阻材料、稀磁半導體材料、納米晶磁性材料、稀土永磁材料、磁流體、生物磁性材料、太陽能電池、透明氧化物半導體、光電和熱電材料、能量轉換器件、有機電子器件、納米管、納米線、量子阱、有機/聚合物/分子材料的低溫測試。
