直流二極型離子鍍

中文名稱直流二極型離子鍍
英文名稱direct current diode ion deposition
定  義利用陰陽極間的輝光放電產生離子,通過基底上所加的負電壓對離子加速的離子鍍技術。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)

基本介紹

  • 中文名:直流二極型離子鍍
  • 外文名:direct current diode ion deposition
  • 一級學科:材料科學技術
  • 二級學科:材料科學技術基礎
  • 定 義
  • 利用陰陽極間的輝光放電產生離子,通過基底上所加的負電壓對離子加速的離子鍍技術。
  • 套用學科
  • (),(),材料合成、製備與加工(三級學科),薄膜製備技術(四級學科)

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