直拉單晶矽工藝技術（第二版）

內容簡介

本書主要內容包括單晶爐的基本知識、直拉單晶爐、直拉單晶爐的熱系統及熱場、晶體生長控制器、原輔材料的準備、直拉單晶矽生長技術、鑄錠多晶矽工藝、摻雜技術等內容。

本書可作為各類院校太陽能光伏產業矽材料技術專業、新能源專業的教材，也可作為單晶矽生產企業的員工培訓教材，還可作為相關專業工程技術人員的參考書。

圖書目錄

緒論1

第1章單晶矽的基本知識3

1.1晶體和非晶體3

1.2單晶和多晶7

1.3空間點陣和晶胞8

1.4晶面和晶向11

1.5晶體的熔化和凝固15

1.6結晶過程的巨觀特徵16

1.7晶核的形成17

1.8二維晶核的形成18

1.9晶體的長大19

1.10生長界面結構模型21

習題23

第2章直拉單晶爐25

2.1直拉單晶爐設備簡介25

2.2直拉單晶爐的結構26

2.3機械部分27

2.4電氣部分35

2.5直拉單晶爐的工作環境40

習題41

第3章直拉單晶爐的熱系統及熱場43

3.1熱系統43

3.2熱系統的安裝與對中46

3.3熱場47

3.4溫度梯度與單晶生長47

3.5熱場的調整51

習題52

第4章晶體生長控制器54

4.1CGC-101A型晶體生長控制器功能簡介54

4.2CGC-101A型晶體生長控制器的開關狀態說明55

4.3CGC-101A型晶體生長控制器的鍵盤操作說明56

4.4CGC-101A型晶體生長控制器參數設定及定義61

4.5CGC-101A型晶體生長控制器使用說明64

習題65

第5章原輔材料的準備67

5.1矽原料67

5.2石英坩堝72

5.3摻雜劑與母合金74

5.4其他材料75

5.5原輔材料的腐蝕和清洗76

5.6腐蝕原理及安全防護77

5.7自動矽料清洗機簡介78

習題80

第6章直拉單晶矽生長技術81

6.1直拉單晶矽工藝流程81

6.2拆爐及裝料82

6.3抽空及熔料86

6.4引晶及放肩88

6.5轉肩及等徑91

6.6收尾及停爐93

6.7拉速、溫校曲線的設定95

6.8堝升速度的計算方法97

6.9異常情況及處理方法99

習題101

第7章鑄錠多晶矽工藝102

7.1光伏產業簡介102

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