田揚超

田揚超，博士，研究員，博士生導師，中國物理學會同步輻射專業委員會常務委員。1963年1月出生，1992 年10月在中國科學技術大學獲得博士學位。1992年7月-1995年6月，中國科學技術大學國家同步輻射實驗室助理研究員，1995年6月- 2000年1月，國家同步輻射實驗室副研究員，2000 年1月-現在，國家同步輻射實驗室研究員。

基本介紹

• 中文名：田揚超
• 出生日期：1963年1月
• 職業：博士生導師
• 畢業院校：中國科學技術大學

近年來，完成了LIGA和X射線成像光束線實驗站等大型實驗裝置的建設，承擔著國家自然基金重點和面上項目、“863”項目和教育部“985”工程二期子項目等研究課題。已在J. MEMS,J. Micromech. Microeng, Micosystem Technologies等國內外雜誌共發表70餘篇，獲得國家專利4項（其中3項為發明專利），申請發明專利兩項。

主要研究方向：

1. 高空間分辨X 射線成像

高空間分辨位相襯度成像、三維成像(NanoCT)，高空間分辨成像在納米材料、環境科學以及生物

醫學中套用研究。

2. 微細加工技術

亞微米、納米光刻及器件製作以及套用研究。

3．微流體晶片和微反應系統

微反應系統製作及化學反應中的套用。