王磊傑，男，博士，清華大學助理研究員。
基本介紹
- 中文名：王磊傑
- 學位/學歷：博士
- 職業：教師
- 專業方向：光刻機超精密雷射干涉儀位移測量技術
- 任職院校：清華大學
個人經歷,研究方向,學術成果,榮譽獎項,
個人經歷
2010/09-2016/07,清華大學，博士
2006/09-2010/07,中國礦業大學（北京），學士
2018/07-至今, 清華大學機械工程系，助理研究員
2016/07-2018/07,清華大學機械工程系，博士後
研究方向
面向IC裝備光刻機的國家重大需求，圍繞納米/亞納米測量精度的生成，重點開展光刻機超精密雷射干涉儀位移測量技術、光刻機超精密光柵干涉儀位移測量技術、基於掃描干涉光刻的大尺寸高精度平面全息光柵製造技術的基礎理論和關鍵技術研究。
學術成果
主持中國博士後科學基金項目1項，參與國家02科技重大專項4項、863項目1項、973項目1項。
1.發表的論文：
(1)Zhu Yu, Wang Leijie, Zhang Ming, et., al. Novel homodyne frequency-shifting interference pattern locking system. Chinese Optics Letters, 2016, 14(6), 061201
(2) WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. A novel heterodyne planar grating encoder system for in-plane and out-of-plane displacement measurement with nanometer-resolution [C]// Proceedings of the 29th annual meeting of the American Society for Precision Engineering. Raleigh, NC, USA: ASPE, 2014: 173-177.
(3) WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. Progress on scanning beam interference lithography tool with high environmental robustness for patterning large size grating with nanometre accuracy [C]// Proceedings of the 17th annual meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology. Germany: EUSPEN, 2017: 47-48.
(4)WANG Leijie, ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. The next generation heterodyne interferometric grating encoder system for multi-DOF displacement measurement of wafer stage [C]// Proceedings of the 32th annual meeting of the American Society for Precision Engineering. Raleigh, NC, USA: ASPE, 2017,67:326-331.
(5) 王磊傑, 張鳴, 魯森, 朱煜, 楊開明. 干涉圖形相位鎖定系統的超精密控制. 光學精密工程, 2017, 25(5): 1213-1221.
(6) 王磊傑, 張鳴, 魯森, 朱煜, 楊開明. 超精密外差利特羅式光柵干涉儀位移測量系統. 光學精密工程, 2017, 25(12): 2975-2985.
(7) 王磊傑, 張鳴, 朱煜, 魯森, 楊開明. 掃描干涉光刻機相位鎖定系統設計. 清華大學學報（自然科學版）, 2015, 55(7): 722-727.
(8) 朱煜, 王磊傑, 張鳴, 祁利山. 掃描干涉光刻機光束自動準直系統設計. 清華大學學報（自然科學版）, 2015, 55(7): 716-721.
(9) 王磊傑, 張鳴, 朱煜. 基於Modelica的直線電機控制系統建模與仿真研究.系統仿真學報, 2012, 24 (8): 1737-1740.
(10)Zhang Ming, Ni Chang, Zhu Yu, Wang Leijie, et al. Large-range displacement measurement using sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer. ChineseOptics Letters, 2017, 17(10), 101201.
(11) Lu, Sen, Yang, Kaiming, Zhu, Yu, Wang, Leijie, Zhang, Ming. Yaw error correction of ultra-precision stage for scanning beam interference lithography systems.Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part I-Journal of Systems and Control Engineering, 2018,232(7):869-878.
(12)魯森, 楊開明, 朱煜, 王磊傑, 張鳴. 干涉條紋相位鎖定系統. 光學精密工程, 2017, 25(1): 1-7.
(13)魯森, 楊開明, 朱煜, 王磊傑, 張鳴. 用於掃描干涉場曝光的超精密微動台設計與控制. 光學學報, 2017, 37(10): 1012006.
(14)魯森, 楊開明, 朱煜, 王磊傑, 張鳴. 掃描干涉場曝光中光柵掩模槽型輪廓預測方法研究. 光學學報, 2018, 38(05): 0505001.
(15)魯森, 楊開明, 朱煜, 王磊傑, 張鳴. 基於遠場干涉的掃描干涉場曝光光學系統設計與分析. 光學學報, 2018, 38(06): 0605001.
2.獲得的發明專利：
(1) Ming Zhang, Yu Zhu, Leijie Wang, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US 9879979 B2. 2018/1/30.
(2) Yu Zhu, Ming Zhang, Leijie Wang, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US 9885556 B2. 2018/2/6.
(3) Yu Zhu, Ming Zhang, Leijie Wang, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM. US 9869857 B2. 2018/1/16.
(4) Yu Zhu, Leijie Wang, Ming Zhang, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM. US 9903704 B2. 2018/2/27.
(5) 張鳴, 朱煜, 王磊傑, 等. 一種利用雷射干涉儀測量矽片台多自由度位移的裝置: 中華人民共和國, ZL201210180146.X [P]. 2012.06.01.
(6) 朱煜, 王磊傑, 張鳴, 等.一種光刻機工件台系統: 中華人民共和國, ZL201310243147.9 [P]. 2013.06.19.
(7) 張鳴, 朱煜, 王磊傑, 等.一種具有圖形鎖定功能的雷射干涉光刻系統: 中華人民共和國, ZL201310017803.3 [P]. 2013.01.17.
(8) 朱煜, 王磊傑, 張鳴,等.一種雷射干涉光刻系統: 中華人民共和國, ZL201310017811.8 [P]. 2012.11.09.
(9) 張鳴, 朱煜, 王磊傑, 等.一種二自由度外差光柵干涉儀位移測量系統: 中華人民共和國, ZL201310243113.X [P]. 2013.06.19.
(10) 張鳴, 朱煜, 王磊傑, 等.基於光學倍程法的二自由度零差光柵干涉儀位移測量系統 : 中華人民共和國, ZL201410031125.0 [P]. 2014.01.23.
(11) 張鳴, 朱煜, 王磊傑, 等.一種二自由度外差光柵干涉儀位移測量系統: 中華人民共和國, ZL201410031251.6 [P]. 2014.01.23.
(12) 朱煜, 王磊傑, 張鳴, 等.基於光學倍程法的二自由度外差光柵干涉儀位移測量系統: 中華人民共和國, ZL201410031283.6 [P]. 2014.01.23.
榮譽獎項
2018年獲北京市科學技術獎一等獎
