熱原子退火是一個化學化工術語。 熱原子退火hnt atom annealing固態母體化合物經核轉變過程而發生的化學變化隨著對這些固體做某種處理(如熱處理或輻射處理)而部分或全部消失,並恢復母體化合物的形式的過程。固體物質在輻射作用下,其密度、楊氏模量、電阻率等物理性質的變化也有退火效應。