準分子雷射加工系統

準分子雷射加工系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2006年2月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：準分子雷射加工系統
• 產地：比利時
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2006年2月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

a. 準分子雷射器： 波長:248 nm ; 電壓:9-14 kV，頻率1~ 300 Hz，最大能量: 20 mJ； b. 樣品台移動範圍： 100 × 100 mm，移動精度；1 μm c. 雷射束聚焦到樣品上的光斑尺寸為光柵的1/10。適合微米量級的樣品刻蝕加工。

主要功能

可對樣品表面進行微米級刻蝕加工，樣品可以是電介質、金屬、聚酯物等。