基本介紹
教育背景,事業成就,
教育背景
1961年畢業於復旦大學物理學系。1984-1985,1989-1990赴美國科羅拉多大學電駝虹戰機系任訪問學者,合作開展研究工作。現任復旦大學微電子學研究所所長 ,微電子學系學術委員會主任,中國電子學會學術工作委員會委員、高級會員;IEEE 高級會員,IEEE SSCS 上海支分會主席,ISIF 顧問委員會委員。《半導體技術》、《微電子技術》編委,《乘嬸境承微型電腦套用》理事。
事業成就
60年代曾從事“量子統計和多體問題”方面的教學和科研工作。授課課程有《量子力學》、《量子統計和多體問題》、《數學物理方程》等。70年代開始進入半導體工藝,半導體器件和積體電路方面的工作。參與電晶體大電流特性,EDMOS 基準電壓源 ,BI-CMOS 工藝,小尺寸 MOS 器件模型等項研究工作。主持復旦大學微電子方面國家《六五》和《七五》攻關項目,獲墓乎試得電子工業部頒發的《七五攻關》有突出貢獻人員證書。為本科生和研究生開設的課程有:《半導體器件原理》、《 固體物理學》、《積體電路物理基礎》、《 VLSI 器件物理》等。90年代以來將研究工作的重點轉到新興的邊緣學科和交叉學科——集成鐵電學和集成鐵電技術方紙拒欠邀面,開展了PZT、SBT、BST、BLT、 SBTi 等鐵電薄膜製備技術、特性、鐵電器件以及它們的套用研究工作估永。研究了集成鐵電薄膜電容的形成技術以及刻蝕技術,開展了鐵電不揮發存儲器及不揮發邏輯電路,以及厚雅估新型相變不揮糠凶迎發存儲器 的研製工作。承擔了國家自然科學基金、上海市套用物理中心基金、《八六三》高科技、國防科技預研、博士點基金等項目的研究工作。