中文名稱測試片英文名稱test wafer定 義用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的矽片。等級比機械測試片高，比正片低。套用學科材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科）
