渦輪分子真空泵

渦輪分子真空泵是指有一高速旋轉的葉輪，當氣體分子與高速旋轉的渦輪葉片相碰撞時就被驅向出氣口再由前級泵抽除。

基本介紹

• 中文名：渦輪分子真空泵
• 屬性：高真空獲得設備

渦輪分子泵是一種高真空獲得設備（真空度可高達10Pa），具有真空度高、抽速大、無油潔淨等優點。分子泵運行時須有前級泵工作和專用電源供電。

套用領域Applications

廣泛套用於鍍膜、電子、半導體、太陽能、真空爐、化工、離子刻蝕、光碟製造、制燈、航空航天、核能源等相關行業和教學、科研單位。