深能級瞬態譜儀是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2013年11月04日啟用。
基本介紹
- 中文名：深能級瞬態譜儀
- 產地：美國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2013年11月04日
- 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
- 脈衝發生器 電壓範圍： ±20.4 V (±102 V opt.) 脈衝寬度：1 µs - 1000 s - 電容測量 高頻信號100 mV @ 1 MHz (20 mV 可選) 電容範圍 [pF] 3, 30, 3000 3000 (自動或手動) 靈敏度 0.01 fF - 電壓測量： 範圍 ±10 V 靈敏度＜1 µV 溫度範圍：30K~450K 電阻範圍：0.1 mOhm - 10 GOhm。
主要功能
檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描，可以給出表征半導體禁帶範圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。
