浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室

浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室（重點實驗室）於2019年2月正式獲浙江省科技廳批准成立，是西湖大學首批獲準成立的重點實驗室之一。重點實驗室依託西湖大學工學院先進微納加工與測試平台以及校內與微納技術相關的課題組和實驗室共同建立。2020年3月份該實驗室網站顯示：有科研用房全部集中在西湖大學雲棲校區2號樓，總計約3000平米，有大型儀器設備總價值超過6000萬元。

基本介紹

• 中文名：浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室
• 隸屬機構：西湖大學

研究內容和方向

重點實驗室結合微電子集成技術和微納加工的未來發展方向，在利用現有平面加工工藝研製微納結構和器件的同時，重點研究和開發3D微納米加工與表征技術，並通過這些技術在相關學科研究套用中探索學科交叉領域，開拓新的套用和研究方向。

發展方向

重點實驗室圍繞3D微納加工和表征技術，開展基礎性和前沿科學技術研究，注重學科交叉融合，並加強與國內同行的技術交流、竭誠合作。

人員構成

重點實驗室學術委員會由7名中國科學院院士和中國工程院院士、1名加拿大工程院院士和7名國內外知名專家學者組成，其中，學術委員會主任由中科院院士郝躍教授擔任，學術委員會副主任由中科院院士劉明研究員和中科院成都光電所羅先剛研究員共同擔任。重點實驗室主任由仇旻教授擔任，副主任由李西軍研究員、周南嘉研究員和張紫陽研究員共同擔任。重點實驗室現有專職工作人員52名，其中60%以上擁有博士學位人員，3名擔任西湖大學講席教授，3名當選OSA、SPIE、IEEE Fellow。