浙江大學微納加工中心

微納加工平台是在浙江大學領導、信息學部領導、信電系領導的大力規劃和支持下建設的開放式微納器件985信息平台，平台向校內所有院系和校外所有高校、科研機構及企業提供開放式的微納加工服務和合作，是由學校直接管理、獨立於所有院系的校級科研公共服務平台。

平台配有一整套先進微納加工及特性表征設備，包括ALD原子層沉積、ICP電感耦合等離子刻蝕、濺射、電子束蒸發、雙面光刻設備等，可以為微機電系統以及微納米器件及感測器的開發設計、製造工藝、封裝檢測等各層面研究工作的開展提供實驗平台。

基本介紹

• 中文名：浙江大學微納加工平台
• 外文名：ZJU Micro-Nano Fabrication Center
• 別名：浙江大學微納加工中心

平台簡介

浙江大學微納加工平台，作為校級平台，已為信電系、材料系、物理系、機械系、生儀系、光電系、高分子系、電氣學院等提供了微納加工服務。此外，服務範圍也輻射到了校外的北京大學、上海交通大學等高校。

發展目標

近期發展目標

服務於學校各院系科研中對微納加工的需求，建成校級開放式微納器件加工平台，實現一站式全套服務，為多個共享領域提供微納器件加工及其工藝研發，所涉及領域包括：微納電子器件、柔性電子器件及系統、微納機械光電子、生物醫療微晶片、微納光電集成、微納感測、納米材料、微納能源、射頻微納系統等。

遠期發展目標

在提供全面微納加工服務基礎上，進一步加強與周邊產業的合作，為共性通用和關鍵核心微納加工技術提供技術保障，一方面開展微納加工的新穎工藝和儀器設備研發，倡導未來工藝和設備的預研工作，並引導國家在微納電子領域科研的發展方向，主導有關微納加工的國際標準的制定和認證。

現有設備

1. ALD原子層沉積
2. ICP 電感耦合等離子刻蝕
3. 濺射（磁控濺射）
4. 電子束蒸發
5. 雙面光刻設備
6. 掃描電鏡、台階儀
7. 封裝、檢測設備等

浙江大學超淨室平面圖

地理環境

浙江大學微納加工中心