氮化物濺射系統

氮化物濺射系統是一種用於天文學領域的天文儀器，於2018年5月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：氮化物濺射系統
• 產地：中國
• 學科領域：天文學
• 啟用日期：2018年5月15日
• 所屬類別：天文儀器 > 地面天文望遠鏡 > 毫米波望遠鏡

技術指標

真空度小於8*10^-9Torr、可裝載6英寸晶片。

主要功能

用於氮化物超導薄膜材料的製備與特性表征。