由於在氧化物中相對於氧，其他元素的電負性一般小於氧，所以當失去氧時，相當於取走一個氧原子加上兩個帶正電的電子-空穴，如果這兩個電子-空穴被束縛在氧空位上，說明氧空位一般帶正電。
空位的概念是固體結構化學或材料學中的，指的是晶格格位無應有原子之結構；空穴的概念是固體及半導體物理中的，指的是一電子相對應的帶正電荷的載流子。
在一定的外界處理條件下，導致晶體中氧缺失，形成氧空位，缺陷方程可以表示為O=1/2O2+Vo；不同情況下，導致氧空位Vo的電離，釋放出一個或者兩個電子，缺陷方程為Vo=Vo+ + e-，Vo+=Vo++ + e-，總的缺陷方程為：O=1/2O2 + Vo++ +2e-
在一定的外界處理條件下，導致晶體中氧缺失，形成氧空位，缺陷方程可以表示為O=1/2O2+Vo；不同情況下，導致氧空位Vo的電離，釋放出一個或者兩個電子，缺陷方程為Vo=Vo+ + e-，Vo+=Vo++ + e-，總的缺陷方程為：O=1/2O2 + Vo++ +2e-
從缺陷方程可以看出，氧空位帶正電；另外也可以這樣認為，當O失去形成空位時，留下兩個電子，如果這兩個電子是自由的，不在原來氧的位置，則該位置在相應的結構環境中，將顯示正電性；如果所形成的空位在該環境中能吸引自由電子且能束縛電子，但是考慮到兩個電子在一起是相互排斥的，所以這個空位只能束縛一個電子,總的結果仍舊是氧空位束縛一個單位的負電荷，顯示正電性
