氧化物薄膜生長系統

氧化物薄膜生長系統是一種用於物理學領域的分析儀器，於2015年12月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：氧化物薄膜生長系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2015年12月3日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

真空度最高達10^-10mbar，可通氧氣和臭氧，2個蒸發源。

主要功能

生長高質量厚度精確可控的氧化物薄膜。