氧化物薄膜生長標定系統

氧化物薄膜生長標定系統是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2016年12月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：氧化物薄膜生長標定系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2016年12月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

真空5x10^-10 mbar以上,電子槍最高能量15keV。

主要功能

利用反射高能電子衍射在位測量生長中薄膜的厚度和結構特性。