氣體分配系統流量

氣體分配系統流量是將氣體分配給到處理室的多個饋送管以處理襯底的設備和方法，系統包括處理氣注入器和護罩組件，所說組件在處理氣注入器附近具有多個護罩體，用於減少處理副產物在其上的澱積。

基本介紹

• 中文名：氣體分配系統流量
• 解釋：將氣體分配給到處理室的多個饋送管以處理襯底的設備和方法

每個護罩體具有濾網和量管，量管中具有小孔陣列，用於通過濾網輸送保護氣。保護氣通過多個具有限流器的流道供應給量管，限流器具有大小確定為能從每個護罩體提供等流量保護氣的孔眼。孔眼的大小較好是確定為即便氣源的壓力或流量變化，也能使保護氣流量恆定。