《氣相沉積薄膜強韌化技術》是2018年國防工業出版社出版的圖書，作者是杜軍、朱曉瑩、底月蘭。
基本介紹
- 中文名：氣相沉積薄膜強韌化技術
- 作者：杜軍、朱曉瑩、底月蘭
- 出版時間：2018年
- 出版社：國防工業出版社
- ISBN：9787118115222
- 類別：工業技術類圖書
- 開本：16 開
- 裝幀：平裝-膠訂
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書重點介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學基金、國防預研基金、重點實驗室基金等一系列基礎研究項目的支持下，在物理氣相沉積硬質薄膜強韌化方法、理論、表征及強韌化薄膜套用領域的研究成果。主要論述了如何製備和表征具有強、韌性能的薄膜，包括薄膜的製備方法，薄膜強化技術，薄膜韌化技術，薄膜的強韌性能表征，薄膜內應力，強韌化薄膜實例。
圖書目錄
● 第1章薄膜製備方法
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● 1.1基本概念
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● 1.1.1薄膜生長過程
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● 1.1.2薄膜結構模型
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● 1.1.3電漿
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● 1.2物理氣相沉積
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● 1.2.1蒸發鍍膜
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● 1.2.2濺射鍍膜
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● 1.2.3離子鍍膜
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● 1.2.4離子束輔助氣相沉積
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●部分目錄
