毛細管放電三束電漿極紫外光刻光源研究裝置

毛細管放電三束電漿極紫外光刻光源研究裝置是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2014年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：毛細管放電三束電漿極紫外光刻光源研究裝置
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年1月1日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

毛細管放電三束電漿單束放電電流峰值大約20kA，電流上升沿大約150ns，所加電壓大約30kV。

主要功能

用於極紫外光刻光源研究。