比長儀測量功能擴展系統是一種用於物理學、工程與技術科學基礎學科、機械工程、電子與通信技術領域的計量儀器,於2009年12月20日啟用。
基本介紹
- 中文名:比長儀測量功能擴展系統
- 產地:中國
- 學科領域:物理學、工程與技術科學基礎學科、機械工程、電子與通信技術
- 啟用日期:2009年12月20日
- 所屬類別:計量儀器 > 長度計量儀器 > 線紋工作基準裝置
技術指標,主要功能,
技術指標
非接觸瞄準測量重複性20nm,接觸式瞄準測量重複性0.2μm。
主要功能
主要用於檢測線紋尺、光柵尺、容柵尺、以及雷射干涉儀等一維線紋標準器及量塊、步距規等一維端面標準器。