橢圓偏振儀測量矽表面上二氧化矽薄層厚度的方法

《橢圓偏振儀測量矽表面上二氧化矽薄層厚度的方法》是2015年4月15日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：橢圓偏振儀測量矽表面上二氧化矽薄層厚度的方法
• 外文名：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
• 標準號：GB/T 31225-2014
• 標準類別：方法

編制進程

2014年9月30日，《橢圓偏振儀測量矽表面上二氧化矽薄層厚度的方法》發布。

2015年4月15日，《橢圓偏振儀測量矽表面上二氧化矽薄層厚度的方法》實施。

起草工作

主要起草單位：上海交通大學、納米技術及套用國家工程研究中心。

主要起草人：金承鈺、李威、梁齊、路慶華、何丹農、張冰。