柔性電路對準機

柔性電路對準機是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2017年12月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：柔性電路對準機
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2017年12月19日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

1. 對準圓片直徑：6“ 2. 可以實現定製的多層柔性襯底的對準 3. 對準精度：10 um。 4. 工業鏡頭工作距離：110mm， 解析度：3.7um。 5. 工業香積尺寸： 1/2.5”，採集速度：15幀、s 6. X軸手動平移台粗調行程：±6.5mm。粗條進度：0.01mm，微調行程：±0.1mm，微調精度： 0.0005mm。 7. Y軸手動平移台粗調行程：±6.5mm。粗條進度：0.01mm，微調行程：±0.1mm，微調精度： 0.0005mm。 8. 角度手動旋轉台粗調角度： ±5°，微調角度： ±6‘。 9. 電動升降台行程：50mm， 重複定位精度： 0.003mm。

主要功能

多層柔性襯底的對準。