特性指用於金屬有機化合物氣相沉積(vln}:}n)，具有很高揮發性、高純度的有機銻化合物。主要指三甲基銻i(CI-l3)35}},三乙基銻[{CZ}S)1}b}}易揮發、自燃，在50U一70U℃容易分解在室溫下貯存十分穩定.利用格利雅反應製備。提純力一法卞要採用精密精餾和減壓精餾及配位體釋換(ligand displacement)新技術。主要用於生長InSb作為長波材料基底。它還廣泛用作矽器件和mY半導體器件的滲雜源。
