有機砷源

有機砷源，用於金屬有機化合物氣相沉積（nrrocn）替代伸烷，具有一定揮發性、高純度的有機砷化合物。

特性

卞要指三甲基砷「( CH3 3f、三乙基砷L C?HS 7-S J、一乙基氫化砷L C cZH;)=ASi l .苯基砷烷 (C,F3K)rAai-fJ .叔丁基砷烷(C,H)ILsHz7利用格利雅反應製備，用精密精餾、減壓精餾及配位體置換技術提純。可燃、有毒液休毒性比砷烷小得多，如氣甲基砷LCSo達2x1 3主要用來替代砷烷製備In一V族化合物半導體。