有機光電器件製備系統

有機光電器件製備系統是一種用於物理學領域的儀器，於2015年11月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：有機光電器件製備系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2015年11月25日

技術指標

有機光電器件製備系統主要由磁控濺射真空室、電阻式6源熱蒸發室、真空手套箱組成，濺射室和蒸發室安裝在三工位手套箱裡，這樣可以使樣品在與大氣隔離的條件下把樣品有一個真空室傳送到另一個真空室，抽氣系統由兩套（每套都配同樣的分子泵+機械泵）真空機組組成了一體化的完整設備。設備本身具有水電檢測及保護功能。詳細指標參見購銷契約中有機光電器件製備系統主要技術指標。

主要功能

薄膜沉積與有機光電器件製備。