有效照相圖像邊緣

是指積體電路光刻工藝中真實的圖像邊緣範圍。

基本介紹

• 中文名：有效照相圖像邊緣
• 外文名：edge of effective photographic image

在以乳膠版為光刻掩模版時，由於乳膠版黑色圖形邊緣有比較大的光密度灰度區，用該圖形對光致抗試劑掩蔽曝光時，只有光密度達到某值的邊緣處才能起到掩蔽作用，這條沿圖形邊界連線的光密度等高線相當於光致抗蝕劑膜層上曝光區與非曝光區的邊界，即有效圖形邊緣。

這個有效圖形邊緣與曝光劑量和顯影閾值有關。