基本介紹
- 中文名:晶體培育
- 範圍:現代科學
- 記載文獻:《晶體生長》
- 目的:晶體質量的檢驗和控制
正文,晶須培育,參考書目,
正文
單晶體通常是指在巨觀尺度範圍內不包含大角度晶界的晶體。在自然界中存在著許多大的單晶體,如水晶、方解石、金剛石等。但多數金屬、氧化物、鹽類等均不以單晶體的形式存在,這些物質的單晶往往需要用人工的方法加以培育。隨著現代科學和工程技術的發展,單晶在理論上和實用上都占有重要的地位,例如:許多半金屬(鍺、矽等)和Ⅲ-Ⅴ族、Ⅳ-Ⅵ族化合物單晶是製作電子、 雷射和紅外器件的材料。在金屬物理和材料科學領域內,如金屬強度、形變、相變、晶體缺陷和擴散等,單晶也是重要的研究對象。由於研究的內容不同和實際套用的差別,對晶體的大小和質量的要求也各不相同,因此出現許多培育晶體的方法。
從熔體中培育單晶 ①提拉法 將金屬或合金在保護氣氛下加熱熔化,然後用一定取向的籽晶引提熔體,一面旋轉,一面按一定速度上升,溶體在上升過程中逐漸凝固結晶成單晶。這種方法是1918年波蘭的喬赫拉斯基(J.Czochraski)首先提出的,故稱為喬赫拉斯基法(或稱提拉法),見圖1。由於這種方法比較簡便,能生長質地優良的近完整單晶,特別是美國達什(W.C.Dash)提出縮頸-細頸工藝之後,能生長無位錯和少位錯大直徑單晶。在沒有籽晶時,也可慢速拉成細頸使得某一晶粒充分發育,以至細頸僅包含一個晶粒,這樣繼續生長也可得到單晶。現在此法在控制單晶體的質量、製取大直徑單晶和自動化操作方面取得很大進展。 ②區域熔化(簡稱區熔)法 是培育單晶的另一類方法。它用可移動的加熱線圈形成可移動的熔區,以多晶棒為原料。在加熱多晶棒端部形成熔區時,用比多晶棒小很多的籽晶引晶,然後以適當速度緩慢移動熔區,使多晶棒經熔融-凝固而長成單晶,見圖2。培育金屬晶體還常採用如圖3所示的布里奇曼(Bridgman)法,模子中的液態金屬緩慢進入低溫區而結晶成單晶。 在固態下培育單晶 根據形變數較小(相當於某臨界值)的多晶材料再結晶退火時,可以獲得很大晶粒的原理,發展了形變-再結晶退火固態培育單晶的方法。其要點是把多晶材料製成一定形狀(一般為絲狀或長的薄片狀),給其一定的形變數後,在再結晶溫度下進行長時間退火,可以得到單晶。
在氣態下培育單晶 許多金屬的鹵化物在高溫下分解出金屬蒸氣,也可以用蒸發、濺射等方法獲得金屬或合金的蒸氣。如果在金屬蒸氣中引入籽晶並使其保持一定溫度,同時控制蒸氣濃度,籽晶可以從蒸氣中吸取金屬原子而繼續長大。如果籽晶呈棒狀,且僅沿徑向長大,則可得到棒狀單晶,稱為氣相生長單晶;如果籽晶為片狀,且僅在片的一個表面生長,稱為氣相外延生長。由於蒸氣來源和襯底籽晶不同,外延方法有多種多樣。如果外延層與襯底相同,稱為同質外延,否則稱為異質外延。如果外延層與襯底物質不同,但晶體結構相同,雖然點陣參數的差別使界面附近存在點陣錯配,但仍獲得單晶外延層。如果外延層與襯底物質不同,晶體結構也不同,則只能在某些有較好匹配關係的晶面上外延,得不到單晶外延層。
從熔體中培育單晶 ①提拉法 將金屬或合金在保護氣氛下加熱熔化,然後用一定取向的籽晶引提熔體,一面旋轉,一面按一定速度上升,溶體在上升過程中逐漸凝固結晶成單晶。這種方法是1918年波蘭的喬赫拉斯基(J.Czochraski)首先提出的,故稱為喬赫拉斯基法(或稱提拉法),見圖1。由於這種方法比較簡便,能生長質地優良的近完整單晶,特別是美國達什(W.C.Dash)提出縮頸-細頸工藝之後,能生長無位錯和少位錯大直徑單晶。在沒有籽晶時,也可慢速拉成細頸使得某一晶粒充分發育,以至細頸僅包含一個晶粒,這樣繼續生長也可得到單晶。現在此法在控制單晶體的質量、製取大直徑單晶和自動化操作方面取得很大進展。 ②區域熔化(簡稱區熔)法 是培育單晶的另一類方法。它用可移動的加熱線圈形成可移動的熔區,以多晶棒為原料。在加熱多晶棒端部形成熔區時,用比多晶棒小很多的籽晶引晶,然後以適當速度緩慢移動熔區,使多晶棒經熔融-凝固而長成單晶,見圖2。培育金屬晶體還常採用如圖3所示的布里奇曼(Bridgman)法,模子中的液態金屬緩慢進入低溫區而結晶成單晶。 在固態下培育單晶 根據形變數較小(相當於某臨界值)的多晶材料再結晶退火時,可以獲得很大晶粒的原理,發展了形變-再結晶退火固態培育單晶的方法。其要點是把多晶材料製成一定形狀(一般為絲狀或長的薄片狀),給其一定的形變數後,在再結晶溫度下進行長時間退火,可以得到單晶。
在氣態下培育單晶 許多金屬的鹵化物在高溫下分解出金屬蒸氣,也可以用蒸發、濺射等方法獲得金屬或合金的蒸氣。如果在金屬蒸氣中引入籽晶並使其保持一定溫度,同時控制蒸氣濃度,籽晶可以從蒸氣中吸取金屬原子而繼續長大。如果籽晶呈棒狀,且僅沿徑向長大,則可得到棒狀單晶,稱為氣相生長單晶;如果籽晶為片狀,且僅在片的一個表面生長,稱為氣相外延生長。由於蒸氣來源和襯底籽晶不同,外延方法有多種多樣。如果外延層與襯底相同,稱為同質外延,否則稱為異質外延。如果外延層與襯底物質不同,但晶體結構相同,雖然點陣參數的差別使界面附近存在點陣錯配,但仍獲得單晶外延層。如果外延層與襯底物質不同,晶體結構也不同,則只能在某些有較好匹配關係的晶面上外延,得不到單晶外延層。