晶圓測試儀

晶圓測試儀是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2008年11月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：晶圓測試儀
• 產地：日本
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2008年11月01日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 大規模積體電路測試儀器

技術指標

晶圓尺寸：5寸 6寸 8寸 綜合精度：4um以內 X-Y軸速度：200mm/s Z軸速度：35ms/0.5mm行程 硬碟：3.5英寸 4.5GB 1台標準配備 壓縮空氣：0.4Mpa以上。

主要功能

主要用於5寸 6寸 8寸晶圓的測試。