日立場發射掃描電鏡

日立場發射掃描電鏡是一種用於化學、生物學領域的分析儀器，於2012年7月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：日立場發射掃描電鏡
• 產地：中國
• 學科領域：化學、生物學
• 啟用日期：2012年7月19日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

理論放大值為八十萬倍。

主要功能

採用了新型 ExB 式探測器和電子束減速功能, 提高了圖象質量(15 kV 下解析度 1 nm) ， 尤其是將低加速電壓下的圖象質量提高到了新的水平(1 kV 下 1. 4 nm) ； 新型的透鏡系統， 提高了高分辨模式、 高速流模式、 大工作距離模式、 磁性樣品模式等多種工作模式， 使其能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。 目前掃描電子顯微鏡的最主要組合分析功能有: X 射線顯微分析系統（即能譜儀, EDS）， 主要用於元素的定性和定量分析， 並可分析樣品微區的化學成分等信息； 電子背散射系統 （即結晶學分析系統）， 主要用於晶體和礦物的研究。