新型廣譜矽材料的製備及其光電性能研究

內容簡介

本書介紹了矽材料的結構與性能、分類及套用、主要製備技術及工藝，重點對太陽能電池、探測器等矽基光電子器件的結構與原理做了闡述，在此基礎上分析了新型廣譜矽材料的特點、結構、光電性能、研究現狀及其在光電子器件方面的套用。本書中作者圍繞硫族元素超飽和摻雜矽材料的製備、結構、特性、超飽和硫摻雜矽探測器與太陽能電池的研製及性能等方面開展了系列研究工作，並在相關實驗及研究成果的基礎上，對新型廣譜矽材料的相關後續研究提出了一些意見和建議。

圖書目錄

第1章矽材料概述

1.1 引言

1.2 矽材料的結構與性能

1.3 矽材料的分類

1.4 矽材料的製備技術

1.5 矽材料的套用

第2章矽基光電子器件及原理

2.1 矽基光電子器件

2.2 矽基太陽能電池的結構與原理

2.3 矽基光電探測器的結構與原理

2.4 矽材料中的能級理論

第3章新型廣譜矽材料

3.1 引言

3.2 新型廣譜矽材料的特點

3.3 矽材料的超飽和摻雜

3.4 新型廣譜矽材料的研究現狀

第4章製備新型廣譜矽材料的實驗設備

4.1 高能離子注入機

4.2 雷射輻照系統

4.3 管式爐退火設備

4.4 超快熱處理設備

第5章新型廣譜矽材料的雷射製備方法

5.1 脈衝雷射與矽表面的相互作用

5.2 皮秒脈衝雷射製備方法

5.3 飛秒脈衝雷射製備方法

第6章新型廣譜矽材料的離子注入製備方法

6.1 離子注入模型

6.2 管式爐退火

6.3 超快熱處理退火

6.4 飛秒脈衝雷射退火

6.5 皮秒脈衝雷射退火

6.6 準分子雷射退火

6.7 CO2雷射退火

第7章新型廣譜矽材料的結構與性能表征

7.1 掃描電子顯微鏡

7.2 透射電子顯微鏡

7.3 原子力顯微鏡

7.4 共聚焦拉曼光譜

7.5 光學性能測試

7.6 電流-電壓特性測試

7.7 霍爾效應測試

7.8 光譜回響測試

7.9 量子效率測試

第8章皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的製備及性能分析

8.1 皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的製備

8.2 皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的形貌特徵

8.3 皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的電學性能

8.4 皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的光學性能

8.5 皮秒雷射輻照氣相摻雜矽材料的拉曼光譜

第9章離子注入雷射輻照矽材料的製備與性能分析

新型廣譜矽材料的製備及其光電性能研究

基本介紹

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