新型多通道聲表面波氣體感測器研究

《新型多通道聲表面波氣體感測器研究》是依託南開大學,由趙啟大擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:新型多通道聲表面波氣體感測器研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:趙啟大
  • 依託單位:南開大學
  • 批准號:60572018
  • 申請代碼:F0123
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2006-01-01 至 2008-12-31
  • 支持經費:23(萬元)
中文摘要
多通道聲表面波氣體感測器由壓電基片、叉指換能器、振盪電路和化學薄膜構成。一個通道用於環境補償,其餘通道貼附不同薄膜用於測量。薄膜吸附氣體後引起器件諧振頻率變化,由此可檢測多種氣體的濃度。目前國內外通常採用雙通道感測器,只能檢測單一氣體。為同時檢測多種氣體,本項目研製多通道聲表面波氣體感測器。其關鍵問題是(1)減少通道間的串擾。為此擬研究多通道聲表面波與界面相互作用理論,改善器件設計。研究叉指換能器加權方法,提高器件的頻率特性。(2)在多通道上選取不同化學膜。按照晶體種類和切向選取不同化學膜,用以對不同種類的氣體進行定量檢測。研究薄膜厚度及沿聲場方向的長度與器件的頻率特性、檢測靈敏度和回響時間的關係,確定薄膜最佳參數。該感測器靈敏度高、穩定性好、成本低、集成度高、適於現場檢測和遠距離傳輸,可套用於環境保護、安全監測、化學戰劑檢測、臨床分析等多種民用、軍用領域。經科技查新,本項研究具有首創性。

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