《新型多自由度壓電薄膜微操縱技術及控制原理的研究》是依託清華大學,由褚祥誠擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名:新型多自由度壓電薄膜微操縱技術及控制原理的研究
- 依託單位:清華大學
- 項目負責人:褚祥誠
- 項目類別:青年科學基金項目
- 批准號:50505021
- 申請代碼:E0512
- 負責人職稱:副研究員
- 研究期限:2006-01-01 至 2006-12-31
- 支持經費:8(萬元)
項目摘要
提出具有納米解析度、碳納米管為探針的多自由度壓電陶瓷膜操縱機理和結構模型。採用層狀壓電陶瓷膜,利用特定的電極分區、極化方式及不同的加電波形,控制壓電膜微觀變形,實現碳納米管的多自由度運動。其特點:結構緊湊、無任何間隙和摩擦損耗、機電轉換效率高、驅動電壓低、干擾小、具有微機電系統集成化特徵,適於在掃描隧道顯微鏡等微觀操縱領域套用。本申請將理論分析和模擬操縱器的工作機理並建立運動學模型,分析壓電陶瓷驅