《新型光學讀出非製冷紅外熱像儀的研製》是依託中國科學技術大學,由伍小平擔任項目負責人的專項基金項目。
基本介紹
- 中文名:新型光學讀出非製冷紅外熱像儀的研製
- 項目類別:專項基金項目
- 項目負責人:伍小平
- 依託單位:中國科學技術大學
- 負責人職稱:教授
- 批准號:10627201
- 研究期限:2007-01-01 至 2009-12-31
- 申請代碼:A0812
- 支持經費:150(萬元)
中文摘要
紅外熱像儀是在科研、生產監控和醫學診斷等領域有迫切需求的高科技儀器。由於是進口設備且成本昂貴,其套用受到極大限制。本世紀初在MEMS製作工藝基礎上發展起來的光學讀出雙材料微梁陣列紅外焦平面(FPA)成像概念,不同於已有產品原理,其非致冷、無讀出微積體電路和熱變形效率高等特點大大降低了製作成本和難度,而理論溫度解析度可與致冷型相比。通過多年的預研,我們提出了高靈敏度微梁陣列熱變形光學讀出方法,並根據這一方法設計製作了無基底間多回折腿變形放大結構的FPA,在構建的系統中獲得了溫度解析度達到150mK的室溫物體熱像。本項目是在多年預研的工作基礎上,進一步改進讀出光路和系統最佳化設計,完善FPA及其溫控與真空封裝技術,實現自帶液晶顯示功能和圖像信號輸出接口的攜帶型光學讀出紅外熱像儀。新研製的儀器性能價格將優於進口的熱型產品,既可作為科研測量儀器、用於生產監控和醫學診斷,也可用於安保監控等用途。