攜帶型原子力顯微鏡

攜帶型原子力顯微鏡是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2013年10月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：攜帶型原子力顯微鏡
• 產地：瑞士
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2013年10月26日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 原子力顯微鏡

技術指標

（1）XY方向範圍：最大110um′110um（2）XY線性度＜0.6%; XY解析度 1.7nm（3）Z方向範圍：最大22um; Z向解析度 0.34nm（4）噪音水平：＜0.3nm（max 0.55nm, RMS）。

主要功能

進行表面微觀形貌測量。