掃描電鏡微納操縱定位測量系統

掃描電鏡微納操縱定位測量系統是一種用於機械工程學科領域的力學性能測試儀器，於2015年5月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：掃描電鏡微納操縱定位測量系統
• 產地： 瑞士
• 學科領域：機械工程
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 力學性能測試儀器

技術指標

維納操縱系統FT-RS1000 微鉗子開口範圍：0-100μm，微力測量範圍±100mN,分辯率5uN； 掃描電鏡Phenom pure 放大倍數20X～28,000X,電鏡解析度30nm，成像時間30s，電鏡準備時間13小時。

主要功能

該系統分為掃描電鏡和微納操縱定位測量系統兩個組成部分，該設備可利用微納探針或微納鉗夾對於樣品進行力學性質測試或者進行微納尺度的操縱，並在掃描電鏡環境下觀測操縱結果和形貌參數。