掃描電子顯微鏡和能譜分析儀是一種用於化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術、安全科學技術領域的分析儀器，於2016年11月7日啟用。
基本介紹
- 中文名：掃描電子顯微鏡和能譜分析儀
- 產地：日本
- 學科領域：化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術、安全科學技術
- 啟用日期：2016年11月7日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 二次電子解析度:3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式）;7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式）; 2. 放大倍率:5-10000; 3. 最大樣品尺寸:最大樣品尺寸; 4.直徑 200mm; 5. 樣品台;X(0 - 100mm),Y(0 - 50mm),Z(5 - 65mm),可觀察區域(直徑 130mm （旋轉並用）),最大樣品高度(80mm（WD=10mm）); 5. 電子光學系統:電子槍(預對中的鎢燈絲),物鏡光闌(4孔可動光闌),探檢測器(埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器,高靈敏度半導體背散射電子檢測器),EDX分析 WD(10mm)。
主要功能
1.提高電子顯微鏡在低加速電壓和低真空下的解析度。 2.SU3500掃描電鏡在加速電壓為3kV時，二次電子圖像解析度達7nm;先進的3D技術以及非常便利的可視化操作，使SU3500成為目前全球最高端的鎢燈絲掃描電鏡。 3.實現了實時立體成像的“實時立體觀察功能”。
