拋光液氧化劑

拋光液氧化劑是能使被拋光表面氧化形成鈍化層的試劑。對拋光後表面質量十分重要。當氧化劑過少時,機械作用過大,易在晶片表面形成劃傷等缺陷;而氧化劑太多,可能導致表面化學勢過高,進入腐蝕區,造成表面有腐蝕坑等缺陷。通過對氧化劑的篩選和濃度影響的研究,可控制拋光速率和拋光後表面質量,達到超精密無損拋光。

基本介紹

  • 中文名:拋光液氧化劑
  • 類別:試劑

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