成像橢偏分析儀

成像橢偏分析儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年11月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：成像橢偏分析儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年11月12日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 圖像分析儀

技術指標

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主要功能

用於探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由於測量精度高，適用於超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。