《微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範》共分5章和5個附錄。主要內容包括：總則、術語、基本規定、單機調試及試運轉和工程驗收等。《微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範》中以黑體字標誌的條文為強制性條文，必須嚴格執行。《微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範》由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業和信息化部負責日常管理，由中國電子系統工程第二建設有限公司負責具體技術內容解釋。
基本介紹
- 書名：微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範
- 作者：中華人民共和國工業和信息化部
- 出版社：中國計畫出版社
- 出版時間：2009年5月1日
- 頁數：63 頁
- 開本：32 開
- ISBN：1580177167
- 外文名：Code for Construction and acceptance of microelectronic production equipment installation engineering
- 語種：簡體中文
內容簡介,圖書目錄,序言,
內容簡介
《微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範》由中國計畫出版社出版。
圖書目錄
l 總則
2 術語
3 基本規定
3.1 施工條件
3.2 施工準備
3.3 定位放線
3.4 設定特殊基礎
3.5 壁板開洞
3.6 室外搬運
3.7 設備開箱及吊裝
3.8 室內搬運
3.9 設備安裝就位
3.10 二次配管配線
3.11 二次配管壓力試驗
4 單機調試及試運轉
5 工程驗收
5.1 一般規定
5.2 交接驗收
5.3 竣工驗收
5.4 驗收不合格處置
附錄A 設備安裝技術參數
附錄B 微電子生產設備安裝工藝流程
附錄C 人員進出潔淨區流程
附錄D 工程質量驗收記錄用表
附錄E 典型國產積體電路生產設備單機試運轉及驗收範例
本規範用詞說明
附：條文說明
序言
本規範是根據建設部“關於印發《2005年工程建設標準規範制訂、修訂計畫（第二批）》的通知”（建標函124號）的要求，由中國電子系統工程第二建設有限公司會同有關單位共同編制而成。
本規範在編制過程中，編制組對我國6英寸積體電路生產線工藝設備、8英寸積體電路生產線工藝設備及部分積體電路工藝設備生產廠家所生產設備，就儲存、搬運、安裝的要求進行了調研，根據多年來設備使用單位、設備生產單位、設備安裝單位對微電子工藝設備安裝技術的經驗積累，借鑑國外當前符合我國國情的技術，在廣泛徵求意見的基礎上，進行了反覆討論和修改，最後經審查定稿。
本規範共分5章和5個附錄。主要內容包括：總則、術語、基本規定、單機調試及試運轉和工程驗收等。
本規範中以黑體字標誌的條文為強制性條文，必須嚴格執行。
本規範由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業和信息化部負責日常管理，由中國電子系統工程第二建設有限公司負責具體技術內容解釋。本規範在執行過程中，請各單位注意總結經驗，積累資料，如發現需要修改或補充之處，請將意見和建議寄送給中國電子系統工程第二建設有限公司（地址：江蘇省無錫市錢榮路160號，郵政編碼：214151），以供今後修訂時參考。
