微電子機械微波通訊信號檢測集成系統

內容簡介

本書共分為12章，從第1章共性的設計理論和實現方法出發，對MEMS微波器件進行了一系列設計、實驗和系統級S參數模型的研究。這些器件包括：第2章的一分為二微波功分器，第3章的間接加熱熱電式功率感測器，第4章的直接加熱熱電式功率感測器，第5章的電容式功仔燥率感測器，第6章的電容式和付酷故熱電式級聯功率傳危主射懂感器，以及集成MEMS系統，第7章的線上電容耦合式微波功率檢測器，第8章的線上戲章辨定向耦合式毫米波功率檢測器，第9章微波相位檢測器和第10章微波頻率檢測器，第11章分別對微波功率、相位和頻率檢測器進行了封裝研究；最後，第12章進行了總結和展望。由於集成的MEMS相愉駝洪位檢測器和集成的MEMS頻率檢測器研究都是基於MEMS微波功率感測器技術，因此，本書用較大篇幅來詮釋MEMS微波功率感測器及其集成的微波功率檢測器的研究。鑒於本書所涵蓋的學術成果在本專業國際上的重要權威學術期刊，以及國際重要學術會議上已發表，同時，書奔槓頌贈中所提出的結構新穎，創新性突出，已獲得中華人民共和國國家發明專利授權，套用價值高。

圖書目錄

第1章設計理論和實現方法

第2章微波功率分配器

第3章充府享MEMS間接加熱熱電式微波功率感測器

第4章MEMS直接加熱熱電式微波功率感測器

第5章MEMS電容式微波功率感測器

第6章MEMS級聯微波功率感測器

第7章MEMS線上電容耦合式微波功率檢測器

第8章MEMS線上定向耦合式毫米波功率檢測器

第9章MEMS微波相位檢測器

第10章MEMS微波頻率檢測器

第11章MEMS封裝

第12章總結和展望

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基本介紹

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